リニアステージ
DMQ ファミリー｜コンパクト、高速ダイレクト ドライブ リニア ステージ
- 高周波数応答を実現するボイス コイル ドライブ
- 12 mm の移動距離
- 最大 25 Hz のフル トラベル サイクルでエンドツーエンドの移動が可能
- 1 nm の分解能を持つリニア エンコーダー
- フォース モード
スペック
Spec- 最大ストローク長
- 12 mm (0.472")
- 最高精度
- 4 μm (0.000157")
- 繰り返し精度
- < 0.5 μm (< 0.000020")
- 最高速度
- 1400 mm/s (55.118"/s)
- 最大推力
- 26 N (5.8 lb)
- 耐荷重
- 100 N (22.4 lb)
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