リニアステージ
LDA ファミリー｜コンパクト、リニア モーター ステージ (水平および垂直)
- 高速で静かな操作のためのリニア モーター ドライブ
- 20、25、75、150 mm の移動距離
- 1 nm の解像度を持つリニア エンコーダ
- 磁気カウンターバランスを備えた垂直方向のオプション
- 最小増分移動 20 nm
- 高精度を実現するクロス ローラー ベアリング設計
スペック
Spec- 最短ストローク長
- 20 mm (0.787")
- 最長ストローク長
- 150 mm (5.905")
- 最高精度
- 1.5μm (0.000059")
- 繰り返し精度
- < 0.2 μm (< 0.000008")
- 最高速度
- 800 mm/s (31.496"/s)
- 最大推力
- 16 N (3.6 lb)
- 耐荷重
- 100 N (22.4 lb)
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