リニアステージ
LDM ファミリー｜超高精度、リニア モーター ステージ (水平および垂直)
- 高速で静かな操作のためのリニア モーター ドライブ
- 40、60、110、210 mm の移動距離
- 1 nm の解像度を持つリニア エンコーダ
- 磁気カウンターバランスを備えた垂直方向のオプション
- 最小ステップ 8 nm
- 高精度を実現するクロス ローラー ベアリング設計
スペック
Spec- 最短ストローク長
- 40 mm (1.575")
- 最長ストローク長
- 210 mm (8.268")
- 最高精度
- 1 μm (0.000039")
- 繰り返し精度
- < 0.08 μm (< 0.000003")
- 最高速度
- 1200 mm/秒 (47.244"/秒)
- 最大推力
- 100 N (22.4 lb)
- 耐荷重
- 120 N (26.9 lb)
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