Vacuum compatible stage
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真空対応ステージ
Vacuum compatible stage
コントローラを内蔵したデイジーチェーン接続されたすべてのポジショナーを制御するために必要なフィードスルー ワイヤは 4 本のみです
低真空および高真空ポジショニング システム、定格は 10-3 torr (低真空) および 10-6 torr (高真空)
最大移動距離 600 mm、荷重 100 kg、速度 205 mm/s
Feature
真空対応ステージの特徴
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豊富なオプション
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自由度の高い多軸組合せ
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ユーザーフレンドリーな無料API
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高負荷オプション
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数分でプラグアンドプレイ
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最短約1週間でお届け
名前が示すように、真空ステージまたは真空対応ステージは、コンポーネントのガス放出を最小限に抑える必要があり、対流による放熱に頼ることができない、極低圧環境での動作用に特別に設計されたモーション コントロール デバイスとして定義されます。
Zaber は、オプションでコントローラを内蔵した、真空対応のリニア ステージ、回転ステージ、垂直ステージ、ゴニオメータ、ミラー マウント、リニア アクチュエータの幅広い選択肢を提供しています。
Zaber の真空対応ステージの詳細については、当社の技術記事「真空アプリケーション向けのモーション デバイス設計の考慮事項」をお読みください。
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