lrq family screw drive
真空対応ステージ
LRQ ファミリー - 中負荷、高剛性、スクリュー ドライブ リニア ステージ
lrq family screw drive
- 高負荷と長寿命を実現する循環ボール ベアリング
- 75、150、300、450、600 mm の移動距離
- ボール スクリューとリード スクリューのオプション
- インラインおよびパラレル ドライブ構成
- スリップ/ストール検出と位置補正用のモーター エンコーダーと 50 nm リニア エンコーダー オプション
- 組み込みコントローラーまたはモーターのみのモデル
- ダスト カバーとバキュームのオプション
スペック
Spec- 最短ストローク長
- 75.0㎜ （2.953”）
- 最大ストローク長
- 600.0mm (23.622“)
- 最高精度
- 10µm （0.000394“）
- 繰り返し精度
- <2.5µm (<0.000098“)
- 最高速度
- 840㎜/s (33.071”/s)
- 最大推力
- 500N (112.1 Ib)
- 耐荷重
- 1000N (224.3 lB)
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