vsr family screw drive
真空対応ステージ
VSR ファミリー - 伸縮式、スクリュー ドライブ
vsr family screw drive
- 移動距離 20 または 40 mm
- 耐荷重 10 kg
- 真空定格バージョンも利用可能
- 内蔵コントローラまたはモーター モデルのみ
- スリップ/失速検出および自動回復用のモーター エンコーダ オプション
- スリップ/失速検出および自動回復用のモーター エンコーダ オプション
スペック
Spec- 最小ストローク長
- 20 mm (0.787")
- 最小ストローク長
- 40 mm (1.575")
- 最高精度
- 35 µm (0.001378")
- 繰り返し精度
- < 35 µm (< 0.001378")
- 最高速度
- 55 mm/s (2.165"/s)
- 最大推力
- 200 N (44.9 lb)
- 耐荷重
- 100 N (22.4 lb)
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