ldm family ultra high precision linear motor
垂直ステージ
LDM ファミリー - 超高精度、リニア モーター ステージ (水平および垂直)
ldm family ultra high precision linear motor
- 高速静音動作を実現するリニア モーター ドライブ
- 移動量 40、60、110、210 mm
- 分解能 1 nm のリニア エンコーダー
- 磁気カウンターバランスによる垂直方向オプション
- 最小増分移動量 8 nm
- 高精度を実現するクロスローラー ベアリング設計
スペック
Spec- 最短ストローク長
- 40 mm (1.575")
- 最長ストローク長
- 210 mm (8.268")
- 最高精度
- 1 μm (0.000039")
- 繰り返し精度
- < 0.08 μm (< 0.000003")
- 最高速度
- 1200 mm/秒 (47.244"/秒)
- 最大推力
- 100 N (22.4 lb)
- 耐荷重
- 120 N (26.9 lb)
close
型番について
閉じる